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• 標配高性能二次電子及4分割背散射探頭
• 一體集成式EDS探頭,成像同時采集EDS結果
• 標配低真空模式成像功能
• 全自動馬達控制及優中心傾轉設計樣品臺
• 配備性能優化燈絲
• 直觀友好用戶界面設計
• 低維護成本
NANOS以高性價比提供高分辨率SEM成像和同步快速 元素分析(EDS)功能于一體,安裝簡單、使用及維護 方便。
NANOS 臺式掃描電鏡
NANOS是一款全面且高性價比的臺式掃描電子顯微 鏡(SEM)。它采用zui新技術進行設計,提供快速高 質量的SEM成像和元素分析。它的設計先進且現代, 非常適合科學研究、產品研發和工業用戶使用。
探測器
NANOS標配二次電子探測器(SED)和背散射電子 探測器(BSD)。BSD具有4象限檢測功能。通過使 用不同區域信號的組合,能夠實現樣品的成分或形貌 細節du立成像,以及通過從多個方向突出顯示表面而 具有“投影成像效果”的圖像。
元素分析
NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測 器(EDS) 。通過用戶界面,用戶可以選擇EDX點分析 或實時元素面掃描。
優中心樣品臺
NANOS是臺式掃描電鏡中wei一一家標配優中心設計 樣品臺,能夠通過用戶控制界面實現電動XY軸樣品 臺移動,在SEM成像模式下可采用優中心設計樣品臺 傾轉實現樣品傾斜觀察,且樣品始終保持聚焦狀態, 無需重新對焦,用戶界面實時顯示jing確樣品臺傾斜角 度,zui大傾斜角度為55°。
導航相機
NANOS在進樣時,標配的光學導航相機會自動對樣品 進行拍照實現樣品精準導航。即便在高倍下,用戶可 以輕松確定樣品位置。
低真空成像
NANOS標配低真空成像功能,低真空成像模式能 夠有效減少或消除樣品荷電對成像的影響。當在高 真空模式下觀察不導電的樣品時,電子積聚在樣品 表面,會導致嚴重荷電現象,影響樣品觀察。
用戶操作界面
NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心, 通過直觀的軟件界面進行簡單設置,即可完成樣品拍 攝。該軟件為僅需快速簡單SEM成像的人提供簡易模 式,同時也為深入進行樣品分析需求提供gao級模式。 用戶可以通過無線鼠標和鍵盤完全控制NANOS,并 可以通過iPad實現設備遠程操控。導航攝像頭 (NavCam)始終處于啟用狀態,能夠確保用戶準確 知道觀察樣品的對應位置。
主要技術特點
豐富的標準配置: NANOS標配二次電子探頭(SED)、四分割高性 能背散射探頭(BSD)、一體式集成EDS和優中 心設計樣品臺。
設計精良:
NANOS采用了可靠的現代設計,并采用了zui新的 成像技術和成分分析探測器。
售后維護方便:
NANOS的設計使您可以輕松進行維護和升級,這 些維護和升級可以在您的場所完成,無需售后工程 師上門。
可靠性高:
憑借出色的穩定性和較小的占地面積,NANOS的 架構確保了它可以在非實驗室環境中使用,滿足各 種現場工況成像需求。
多操作模式選擇:
在基礎模式下,無需操作經驗,NANOS都能在短 時間內完成掃描電鏡成像分析。高級模式為詳細分 析提供了進一步的功能。
覆蓋1kV至20kV可調加速電壓,可確保高速EDS分析和 面掃,準確識別樣品中的元素成分及含量。
設備維護
NANOS的開發以zui佳售后服務體驗為核心,采用可拆 卸面板、模塊化組件設計 、整機僅需一塊控制板和少 量移動部件構成,可將售后服務要求降至最低。 NANOS的du特之處在于真空室內沒有移動部件,由于 這種巧妙的設計,樣品污染的風險大大消除。
電子光源
NANOS采用強大的熱發射鎢燈絲電子源,由電磁線圈 透鏡和靜電偏轉器控制實現電子束掃描。使用“eco” 設置,燈絲壽命可以延長數百小時,并且仍然可以生 成高分辨率圖像。任何用戶都可以du立用很簡單的對 準工具更換燈絲,確保zui短的停機時間。無需等待服 務工程師來上門更換。
技術參數
圖像模式 |
光學 |
放大倍數范圍: 2 – 12x |
電子束 |
放大倍數范圍: 50 – 200,000x |
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分辨率 |
<8 nm |
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成像方式 |
光學 |
明場 |
電子束 |
優化鎢燈絲 (tungsten) |
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加速電壓 |
默認: 1, 2, 5, 7, 10, 15 & 20 kV,可調范圍介于1和20kV之間 |
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探測器 |
二次電子探測器 (SED) |
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4分割被散射電子探測器 (BSD) |
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一體化集成X射線探測器(EDS) |
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數字成像控制 |
集成式彩色數字導航相機 |
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圖像存儲格式 |
JPEG, TIFF, PNG, BMP |
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用戶界面 |
通信、成像和及分析均由通過無線鼠標和鍵盤進行控 制的單個窗口軟件即可 支持遠程控制(如iPad) 支持基礎以及gao級模式 |
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數據存儲 |
網絡、USB、zhuan用工作站 |
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樣品臺 |
優中心樣品臺,傾轉范圍-15°~+40° |
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馬達控制X、Y軸移動范圍: 25 X 25 mm |
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樣品尺寸 |
25 mm 直徑釘臺,zui大支持60 mm 直徑 |
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EDS 參 數 |
探 測 器 類 型 |
Si漂移探測器 (SDD), 電制冷 |
探測窗口面積 |
30 mm2 |
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能量分辨率 |
@ Mn Kα < 127 eV |
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最大計數率 |
300,000 cps |
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硬件集成 |
一體嵌入式,直接集成于NANOS 用戶界面 |
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軟件 |
EDS分析以及面掃描 結果導出功能 |
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系統參數 |
主機尺寸 |
280mm (w) x 630mm (d) x 550mm (h) |
重量 |
60 kg |
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真空泵 |
無油真空泵以及渦輪分子泵 |
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真空模式 |
高真空模式(傳統SEM)低真空模式0.4mbar(低真空SEM) 通過用戶界面控制真空度 |
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工作站 |
帶有27英寸顯示器的預配置一體機。 安裝SEM成像和EDS分析軟件 |
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